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簡(jiǎn)要描述:【無(wú)錫冠亞】反應(yīng)釜加熱控溫機(jī) 化工用冷熱一體機(jī),應(yīng)用于對(duì)玻璃反應(yīng)釜、金屬反應(yīng)釜、生物反應(yīng)器進(jìn)行升降溫、恒溫控制,尤其適合在反應(yīng)過程中有需熱、放熱過程控制。解決化學(xué)醫(yī)藥工業(yè)用準(zhǔn)確控溫的特殊裝置,用以滿足間歇反應(yīng)器溫度控制或持續(xù)不斷的工藝進(jìn)程的加熱及冷卻、恒溫系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào):SUNDIZ4-3
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間:2025-01-17
訪  問  量:955| 品牌 | 冠亞制冷 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-20萬(wàn) | 
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 | 

無(wú)錫冠亞冷熱一體機(jī)典型應(yīng)用于:
高壓反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、雙層玻璃反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、
雙層反應(yīng)釜冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制、微通道反應(yīng)器冷熱源恒溫控制;
小型恒溫控制系統(tǒng)、蒸飽系統(tǒng)控溫、材料低溫高溫老化測(cè)試、
組合化學(xué)冷源熱源恒溫控制、半導(dǎo)體設(shè)備冷卻加熱、真空室制冷加熱恒溫控制





型號(hào)  | SUNDI-125 SUNDI-125W  | SUNDI-135 SUNDI-135W  | SUNDI-155 SUNDI-155W  | SUNDI-175 SUNDI-175W  | SUNDI-1A10 SUNDI-1A10W  | SUNDI-1A15 SUNDI-1A15W  | |||||||
介質(zhì)溫度范圍  | -10℃~+200℃  | ||||||||||||
控制系統(tǒng)  | 前饋PID ,無(wú)模型自建樹算法,PLC控制器  | ||||||||||||
溫控模式選擇  | 物料溫度控制與設(shè)備出口溫度控制模式 可自由選擇  | ||||||||||||
溫差控制  | 設(shè)備出口溫度與反應(yīng)物料溫度的溫差可控制、可設(shè)定  | ||||||||||||
程序編輯  | 可編制5條程序,每條程序可編制40段步驟  | ||||||||||||
通信協(xié)議  | MODBUS RTU 協(xié)議 RS 485接口  | ||||||||||||
外接入溫度反饋  | PT100或4~20mA或通信給定(默認(rèn)PT100)  | ||||||||||||
溫度反饋  | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì) 溫度、出口溫度、反應(yīng)器物料溫度(外接溫度傳感器)三點(diǎn)溫度  | ||||||||||||
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度  | ±0.5℃  | ||||||||||||
反應(yīng)物料溫控精度  | ±1℃  | ||||||||||||
加熱功率 kW  | 2.5  | 3.5  | 5.5  | 7.5  | 10  | 15  | |||||||
制冷量 kW  | 200℃  | 2.5  | 3.5  | 5.5  | 7.5  | 10  | 15  | ||||||
20℃  | 2.5  | 3.5  | 5.5  | 7.5  | 10  | 15  | |||||||
-5℃  | 1.5  | 2.1  | 3.3  | 4.2  | 6  | 9  | |||||||
流量壓力 max L/min bar  | 20  | 35  | 35  | 50  | 50  | 75  | |||||||
2  | 2  | 2  | 2  | 2  | 2.5  | ||||||||
壓縮機(jī)  | 海立  | 艾默生谷輪/丹佛斯渦旋壓縮機(jī)  | |||||||||||
膨脹閥  | 丹佛斯/艾默生熱力膨脹閥  | ||||||||||||
蒸發(fā)器  | 丹佛斯/高力板式換熱器  | ||||||||||||
操作面板  | 7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示、記錄  | ||||||||||||
安全防護(hù)  | 具有自我診斷功能;冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。  | ||||||||||||
密閉循環(huán)系統(tǒng)  | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。  | ||||||||||||
制冷劑  | R-404A/R507C  | ||||||||||||
接口尺寸  | G1/2  | G3/4  | G3/4  | G1  | G1  | G1  | |||||||
水冷型 W 溫度 20度  | 600L/H 1.5bar~4bar G3/8  | 800L/H 1.5bar~4bar G1/2  | 1000L/H 1.5bar~4bar G3/4  | 1200L/H 1.5bar~4bar G3/4  | 1600L/H 1.5bar~4bar G3/4  | 2000L/H 1.5bar~4bar G3/4  | |||||||
外型尺寸(水)cm  | 45*65*120  | 50*85*130  | 50*85*130  | 55*100*175  | 55*100*175  | 70*100*175  | |||||||
外形尺寸 (風(fēng))cm  | 45*65*120  | 50*85*130  | 55*100*175  | 55*100*175  | 70*100*175  | 70*100*175  | |||||||
隔爆尺寸(風(fēng)) cm  | 45*110*130  | 45*110*130  | 45*110*130  | 55*120*170  | 55*120*170  | 55*120*170  | |||||||
正壓防爆(水)cm  | 110*95*195  | 110*95*195  | 110*95*195  | 110*95*195  | 110*95*195  | 120*110*195  | |||||||
常規(guī)重量kg  | 115  | 165  | 185  | 235  | 280  | 300  | |||||||
電源 380V 50HZ  | AC 220V 50HZ 3.6kW  | 5.6kW  | 7.5kW  | 10kW  | 13kW  | 20kW  | |||||||
選配風(fēng)冷尺寸cm  | /  | 50*68*145  | 50*68*145  | 50*68*145  | /  | /  | |||||||

在現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)中,冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)通過準(zhǔn)確控制溫度環(huán)境,為半導(dǎo)體制造過程中的多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供必要的溫度保障,從而確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。反應(yīng)釜加熱控溫機(jī) 化工用冷熱一體機(jī)
一、冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)的基本工作原理
冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)是一種集制冷和加熱功能于一體的設(shè)備,能夠提供穩(wěn)定的高溫和低溫環(huán)境,滿足半導(dǎo)體制造過程中復(fù)雜多變的溫度需求,為半導(dǎo)體器件的研發(fā)、生產(chǎn)和測(cè)試提供了可靠的保障。
二、冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用
1. 薄膜生長(zhǎng)
在半導(dǎo)體制程中,冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)能夠?yàn)楸∧どL(zhǎng)提供所需的準(zhǔn)確溫度環(huán)境,促進(jìn)材料的化學(xué)反應(yīng),從而生長(zhǎng)出高質(zhì)量的薄膜。通過準(zhǔn)確控制溫度,可以優(yōu)化薄膜的生長(zhǎng)條件,提高薄膜的均勻性和致密性,進(jìn)而提升半導(dǎo)體器件的整體性能。
2. 熱處理
半導(dǎo)體材料在制程過程中需要進(jìn)行多種熱處理,如退火、氧化等。這些過程對(duì)溫度的要求非常嚴(yán)格,稍有偏差就可能導(dǎo)致材料性能下降或器件失效。冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)能夠提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境,確保熱處理過程的順利進(jìn)行。例如,在氧化過程中,通過準(zhǔn)確控制溫度,可以形成致密的二氧化硅層,有效保護(hù)晶圓表面,防止化學(xué)雜質(zhì)和漏電流的影響。
3. 摻雜工藝
摻雜是半導(dǎo)體制程中的環(huán)節(jié)之一,通過向材料中引入特定的雜質(zhì)來改變其電學(xué)性質(zhì)。冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)能夠?yàn)閾诫s工藝提供準(zhǔn)確的溫度控制,確保雜質(zhì)能夠均勻地分布在材料中,從而獲得理想的摻雜效果。準(zhǔn)確的溫度控制可以避免摻雜不均勻?qū)е碌钠骷阅懿▌?dòng),提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。反應(yīng)釜加熱控溫機(jī) 化工用冷熱一體機(jī)
4. 清洗與刻蝕
在半導(dǎo)體制程中,清洗和刻蝕是去除表面污物和不需要材料的步驟。冷熱循環(huán)試驗(yàn)機(jī)能夠?yàn)檫@些工藝提供適當(dāng)?shù)臏囟拳h(huán)境,提高清洗和刻蝕的效果。適當(dāng)?shù)臏囟瓤梢源龠M(jìn)清洗劑和刻蝕劑的化學(xué)反應(yīng),加速污物和不需要材料的去除,從而保證半導(dǎo)體器件的清潔度和精度。

